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顯微激光測振儀
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顯微激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器,也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量,可以精確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動狀態(tài)(頻率、速度、加速度、位移等信息),激光光斑達(dá)微米量級,并可通過顯微成像系統(tǒng)實時精確定位被測點位置。
特點:
- 非接觸測量,無負(fù)載
- 激光光斑極小,微米級
- 優(yōu)越的帶寬和動態(tài)范圍
- 高空間分辨率
- 工作距離可選
- 高靈活性、易安裝、易操作
- 振動傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
- 配有同軸照明裝置和相機(jī),可以方便迅速地確定測量位置。
技術(shù)參數(shù):
LV-S01-M 光學(xué)頭參數(shù)
尺寸( L*W*H )
454.8 × 270 × 643mm
重量
5kg
聚焦方式
手動聚焦
激光波長
He-Ne laser 632.8nm
激光功率
< 2mW
工作距離
0.35m-20m( 取決于被測物體表面)
LV-S01-M 控制箱參數(shù)
尺寸( L*W*H )
450 × 421 × 149mm
重量
8kg
最大測量速度
± 10m/s
最大測量位移
± 2m
輸出電壓范圍
± 10V
頻率范圍
DC ~ 3MHz
DC ~ 25MHz
濾波設(shè)置
高通、低通濾波,跟蹤濾波
最大線性誤差
<± 1%
速度分辨率
優(yōu)于 0.01 μ m/s/ √ Hz
位移分辨率
優(yōu)于 1pm
模擬輸出
BNC 接口輸出
數(shù)字輸出
RJ45 千兆以太網(wǎng)口
低通濾波器
2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,80kHz,160kHz,320kHz,1MHz,3MHz(VD-18/DD-27 解碼器 )/
100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M 解碼器 )
跟蹤濾波器(選配)
Slow , Medium , Fast , Off
信號電平顯示
反光信號強(qiáng)度顯示、 DC 電壓信號輸出( BNC 接口, 0…5V )
顯示
帶交互式菜單引導(dǎo)設(shè)置的彩色屏
工作溫度
+3 °C … +45 °C
存儲溫度
-10 °C … +65 °C
相對濕度
<90%
供電電源
100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz
防護(hù)等級
IP54